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真空燒結(jié)爐使用時(shí)的注意事項(xiàng)有哪些
發(fā)布時(shí)間:2016-12-08   瀏覽:3209次

  真空燒結(jié)爐雖然操作簡(jiǎn)單安全,但如果沒有嚴(yán)格按照使用規(guī)章制度使用,就會(huì)有安全隱患,因此在使用時(shí),一定要認(rèn)真對(duì)待注意事項(xiàng),確保生產(chǎn)安全。

  熱電偶使用過度,會(huì)發(fā)脆,不能接觸,因此有損壞時(shí)應(yīng)及時(shí)更換。真空燒結(jié)爐循環(huán)水的保暖問題,在冬天要尤為注意,以防水管爆裂。

  爐體在使用后應(yīng)保持真空,如此可以保證真空燒結(jié)爐下次抽真空速度會(huì)快些。因設(shè)備較復(fù)雜,建議新手使用時(shí)要嚴(yán)格實(shí)行用前培訓(xùn),用后檢查,操作使用要記錄等規(guī)定。

  有些高溫?zé)崽幚頎t也可當(dāng)作燒結(jié)爐使用,用于燒結(jié)爐時(shí)要注意,爐內(nèi)放置坩堝后,在蓋上保溫屏蓋時(shí),不要忘記蓋其中間的小蓋,以免燒損電爐。

高溫?zé)崽幚頎t.jpg

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氣相沉積爐操作中常見的異常情況有哪些

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氣相沉積爐操作中常見的異常情況有哪些氣相沉積爐作為一種高科技設(shè)備,在微電子、光電子、能源及航空航天等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。然而,在實(shí)際操作過程中,氣相沉積爐可能會(huì)遇到多種異常情況,這些異常情況不僅影響生產(chǎn)效率,還可能對(duì)設(shè)備造成損害。氣相沉積爐廠家洛陽八佳電氣將詳細(xì)介紹氣相沉積爐操作中常見的異常情況及其可能原因。 一、爐溫異常爐溫異常是氣相沉積爐操作中常見的異常情況之一。當(dāng)爐溫過高或過低時(shí),都會(huì)影響沉積效果和薄膜質(zhì)量??赡艿脑虬訜嵩收?、控制系統(tǒng)問題、溫度傳感器故障等。此時(shí),應(yīng)檢查加熱元件是否損壞或老化,控制系統(tǒng)是否正常工作,以及溫度傳感器是否準(zhǔn)確。 二、氣體流量不穩(wěn)定氣體流量不穩(wěn)定可能導(dǎo)致沉積不均勻或薄膜質(zhì)量下降??赡艿脑虬怏w管道堵塞、泄漏或氣路閥門故障等。為解決這一問題,需要逐一排查這些可能的原因,并進(jìn)行相應(yīng)的清理、修復(fù)或更換工作。 三、爐內(nèi)壓力異常爐內(nèi)壓力異??赡苁怯捎趬毫鞲衅鞴收稀⒄婵毡檬Щ驓饴废到y(tǒng)泄漏等原因引起的。這可能導(dǎo)致沉積過程中的不穩(wěn)定,甚至損壞設(shè)備。應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行排查和修復(fù),確保爐內(nèi)壓力穩(wěn)定在設(shè)定范圍內(nèi)。 四、爐體振動(dòng)或噪音過大爐體振動(dòng)或噪音過大可能是由于爐體結(jié)構(gòu)松動(dòng)、風(fēng)機(jī)故障或電機(jī)運(yùn)行不穩(wěn)定等原因造成的。這不僅會(huì)影響設(shè)備的正常運(yùn)行,還可能對(duì)操作人員造成安全隱患。應(yīng)檢查并緊固爐體結(jié)構(gòu),檢查并更換損壞的風(fēng)機(jī)或電機(jī)。 五、進(jìn)樣口漏氣進(jìn)樣口漏氣可能導(dǎo)致氣體流量不穩(wěn)定或沉積效果不佳??赡艿脑虬ǜ魤|損壞、螺母擰得太緊等。此時(shí),應(yīng)更換隔墊,并確保螺母不要擰得太緊,以保證氣路的密封性。 六、檢測(cè)器故障檢測(cè)器故障可能導(dǎo)致無法檢測(cè)到沉積過程中的信號(hào)或檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)確??赡艿脑虬z測(cè)器熄火、火未點(diǎn)著或檢測(cè)器噴嘴堵塞等。對(duì)于FID檢測(cè)器,可以嘗試重新點(diǎn)火;對(duì)于其他類型的檢測(cè)器,可以清洗噴嘴或進(jìn)行其他相應(yīng)的維修操作。 七、基線漂移或不穩(wěn)定基線漂移或不穩(wěn)定性可能導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性下降??赡艿脑虬ɑ€受熱損失、老化柱子、固定液受熱損失等。為解決這一問題,可以嘗試調(diào)整溫度、老化柱子或更換固定液等。 八、峰異常峰異常可能表現(xiàn)為不出峰、峰很小、峰拖尾等。可能的原因包括樣品前處理不夠干凈、進(jìn)樣口污染、進(jìn)樣技術(shù)欠佳等。為解決這些問題,可以加強(qiáng)樣品前處理、清洗進(jìn)樣口或提高進(jìn)樣技術(shù)等。綜上所述,氣相沉積爐操作中常見的異常情況包括爐溫異常、氣體流量不穩(wěn)定、爐內(nèi)壓力異常、爐體振動(dòng)或噪音過大、進(jìn)樣口漏氣、檢測(cè)器故障、基線漂移或不穩(wěn)定以及峰異常等。針對(duì)這些異常情況,操作人員應(yīng)熟悉可能的原因并采取相應(yīng)的解決措施,以確保設(shè)備的正常運(yùn)行和生產(chǎn)效率。

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